Silikon gofret platformasi

Silikon gofret platformasi

Ushbu kremniy gofret platformalari butun bo'ylab juda ishonchli ishlov berish yuzasini ta'minlash uchun sinchkovlik bilan arxitektura qilingan.2 dyuymdan 12 dyuymgacha (50 mm - 300 mm)diametrli spektr. Atom darajasidagi sirt aniqligi-bilan ishlab chiqilgan bu substratlar eng talabchan-sodiqlik uchun asos bo‘lib xizmat qiladi.fotolitografiya, quruq surtish va yupqa-plyonka yotqizishketma-ketliklar.

Differentsial texnik afzalliklar:

Strukturaviy bir xillik:Materialning xususiyatlari optimallashtirildiInterstitsial kislorod (Oi) va uglerod tarkibinazorat qilish. Ushbu ichki muvozanat uchuvchan yuqori-vakuumli tavlanish va tez termik ishlov berish (RTP) paytida panjara sirpanishi va termal yog'ingarchilikni oldini olish orqali ishlab chiqarishning bir xil sharoitlarini qo'llab-quvvatlaydi.

Termomexanik chidamlilik:Kuchli termal va mexanik yuklar ostida barqaror xususiyatlarni saqlab qolish uchun ishlab chiqilgan material takrorlanadigan natijalarni ta'minlaydi.Quvvat IC (IGBT/MOSFET) va RF-ICishlab chiqarish. Ushbu barqarorlik erishish uchun juda muhimdirsub-mikron umumiy qalinligi oʻzgarishi (TTV)va avtomatlashtirilgan 300 mm quyish liniyalarida fokusning siljishini minimallashtirish.

Sanoat-bahosi ishonchliligi:1-darajali global texnik sifat standartlariga javob berish va ulardan oshib ketish uchun mo'ljallangan, toza sirt qoplamasi (Angstrom darajasidagi pürüzlülük bilan) jarayonning barqaror natijalarini ta'minlaydi, bu esa ishning ko'tarilishi bilan bevosita bog'liqdir.gofret-darajadagi rentabellik va qurilma ishonchliligi.

Ilovaning ko'p qirraliligi:Ixtisoslashgan ilmiy-tadqiqot prototiplarini yaratish yoki yuqori{0}}hajmli sanoat-ishlab chiqarish uchun foydalaniladimi, bu substratlar ishonchli, yarim oʻtkazgich-eksklyuziv materiallar yechimini taʼminlaydi. Aniq kristall yo'nalishi va dopantning bir xilligi eng sezgir uchun optimallashtirilganMEMS, Logic va Power Semiconductorilovalar.

Issiq teglar: silikon gofret platformasi, Xitoy silikon gofret platformasi ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi