Silikon dumaloq gofret

Silikon dumaloq gofret

Ushbu kremniy dumaloq gofret seriyasi murosasizlikni ta'minlash uchun sinchkovlik bilan ishlab chiqilganbarqaror geometriyamuammosiz uchun talab qilinadiavtomatlashtirilgan ishlov berishilg'or quyish muhitida. dan to'liq diametrli spektr uchun optimallashtirilgan2 dyuym (50 mm) dan 12 dyuymgacha (300 mm), bu substratlar yuqori-tezlikdagi robot uzatish va vakuumli chucking ketma-ketliklarida izchil mexanik ulanishni ta'minlash uchun yuqori aniqlikdagi chekka profil bilan arxitektorlanadi.

Aniq{0}}Diskdagi uskunalar bilan mosligi:Har bir gofret uchun qattiq toleranslar bilan boshqariladianiq yumaloqlikva diametrning mustahkamligi, eski 200 mm asboblar va ilg'or 300 mm avtomatlashtirilgan klasterlar bilan muvofiqlikni sezilarli darajada yaxshilaydi. Chuqurlik va tekis o'lchamlar uchun xalqaro SEMI standartlariga qat'iy rioya qilgan holda, substrat deyarli bir zumda asboblarni kalibrlash imkonini beradi, bu esa mexanik ishlamay qolish vaqtini kamaytiradi.

Oddiylashtirilgan ishlov berish oqimi:Gofretning yuqori o'lchovli barqarorligi asilliq ishlov berish oqimiishlab chiqarishning eng intensiv bosqichlarida. Massa ekssentrikligining-markazini- minimallashtirish orqali substrat yuqori -aylanma aylanish tezligini qoplash va kimyoviy{4}}mexanik planarizatsiya (CMP) paytida aylanish tebranishini kamaytiradi va butun sirt bo‘ylab bir tekis plyonka qalinligini ta'minlaydi.

Minimallashtirilgan hizalama buzilishi: Barqaror o'lchamlarfazoviylikni kamaytirish uchun muhim ahamiyatga egamoslashtirish muammolarikoʻp qatlamli{0}}fotolitografiya paytida. Gofretning barqaror shakl omili global tekislash belgilarining ilg'or skanerlarning suratga olish diapazonida qolishini ta'minlaydi va bu ko'tarilish bilan bevosita bog'liqdir.gofret-darajadagi rentabellik (WLY)yuqori{0}}zichlik uchunPower IC va Logickatta hajmdagi-qurilmalarsanoat ishlab chiqarish liniyalari.

Issiq teglar: Silikon dumaloq gofret, Xitoy silikon dumaloq gofret ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi