Silikonni qayta ishlash gofreti

Silikonni qayta ishlash gofreti

Ushbu kremniyni qayta ishlash gofret seriyasi juda ehtiyotkorlik bilanmurakkab ishlab chiqarish bosqichlari uchun mo'ljallangan, eng talabchan{0}}oldingi{1}}-chiziq (FEOL) ketma-ketliklari uchun moslashuvchan xost sifatida ishlaydi. dan to'liq sanoat spektrini qo'llab-quvvatlash2 dyuym (50 mm) dan 12 dyuymgacha (300 mm), bu substratlar zamonaviy qurilma masshtablashning iterativ davrlari orqali mutlaq panjara barqarorligi va sirt tekisligini saqlab qolish uchun arxitektura qilingan.

Yuqori termal chidamlilik:Gofret shu maqsadda ishlab chiqilganyuqori haroratli jarayonlarda yaxlitlikni-saqlangchuqur{0}}quduq diffuziyasi va tez termal tavlanish (RTA) kabi. Interstitsial kislorod kontsentratsiyasini optimallashtirish va ilg'or termal stressni bartaraf etish{2}}protokollarini qo'llash orqali substrat panjaraning sirpanishi va mikro-burilishning oldini oladi va intensiv termal byudjetlar ostida mikro{4}}pastki{4}} xususiyatlarning saqlanib qolishini ta'minlaydi.

Hosildorlik-Boshlangan samaradorlik: Yagona xususiyatlarradial qarshilik va sirt morfologiyasida sezilarli darajadahosildorlik darajasini oshirishion implantatsiyasi va yupqa plyonka-cho'kishiga oldindan taxmin qilinadigan javobni ta'minlash orqali. Bu bir xillik elektr parametrlarining butun gofret yuzasi boʻylab bir xil boʻlishini taʼminlaydi va yuqori zichlikda “gofretning{2}}qirrasi- unumdorligining pasayishini minimallashtiradi.Power IC va analogqurilmalar.

Aniq naqshni qo'llab-quvvatlash:Thegofret aniq qirqish va litografiyani qo'llab-quvvatlaydisub-mikron umumiy qalinlik oʻzgarishi (TTV) va yuqori mahalliy tekislikni taklif qilish orqali. Ushbu geometrik aniqlik yuqori aniqlikdagi skanerlar uchun barqaror{2}}fokus chuqurligini (DOF) osonlashtiradi, bu esa murakkab darvoza tuzilmalarini izchil shakllantirish va yuqori-aspekt{6}}otishmalarga imkon beradi. Qattiq SEMI standartlariga rioya qilish, uzamonaviy yarimo'tkazgich liniyalari talablariga javob beradiavtomatlashtirilgan ishlov berish va yuqori-hajm o'tkazish uchun.

Issiq teglar: kremniyni qayta ishlash gofreti, Xitoy kremniyni qayta ishlash gofreti ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi