Silikon ishlab chiqarish uchun substrat

Silikon ishlab chiqarish uchun substrat

Ushbu kremniy ishlab chiqaruvchi substrat seriyasi ta'minlash uchun sinchkovlik bilan ishlab chiqilgankuchli jarayon muvofiqligieng talabchan yuqori{0}}hajmli ishlab chiqarish (HVM) muhitlarida. dan to'liq sanoat spektrini qo'llab-quvvatlash2 dyuym (50 mm) dan 12 dyuymgacha (300 mm), bu substratlar ilg'or kristall o'sishi va{0}}profillash texnologiyalari bilan arxitekturaga ega bo'lib, qurilmalarni murakkab masshtablash va ko'p-qatlamli integratsiya uchun yuqori-to'liq asos bo'lib xizmat qiladi.

Yuqori aniqlikdagi ish oqimlari- uchun ishlab chiqilgan:Har bir substrat umumiy qalinligi o'zgarishi (TTV), burish va kamon uchun qattiq bardoshlik bilan boshqariladi, ularyuqori aniqlikdagi ishlab chiqarish ish jarayonlarini-qo‘llab-quvvatlaydiilg'or fotolitografiya va kimyoviy{0}}mexanik planarizatsiya (CMP) kabi. Bu geometrik aniqlik kritik qatlamlarning mutlaq hizalanish aniqligini saqlab turishini ta'minlaydi va yuqori{2}}zichlikdagi naqsh buzilishini kamaytiradiPower IC va analogarxitekturalar.

Minimallashtirilgan ishlov berishning buzilishi: Barqaror mexanik xususiyatlar-jumladan, optimallashtirilgan Young moduli va sinish chidamliligi- sezilarli darajadaishlov berish yo'qotishlarini kamaytirishyuqori{0}}tezlikdagi robot uzatish paytida. Yuqori sirt morfologiyasi va chet{2}}yaxlitligini nazorat qilish orqali substrat mikro-yorilishlar va zarrachalarning oldini oladi va takroriy vakuum-vakuum-va termal-aylanish ketma-ketligi orqali materialning stressga-neytral boʻlishini taʼminlaydi.

Ommaviy ishlab chiqarish uchun optimallashtirilgan:Substratommaviy ishlab chiqarishda ishonchli ishlaydi, gofret darajasidagi hosildorlikni (WLY) barqarorlashtirish uchun zarur bo'lgan-to'plamdan{1}}to'plamga takror ishlab chiqarishni ta'minlash. Teshik va tekis o'lchamlar uchun xalqaro SEMI standartlariga qat'iy rioya qilishavtomatlashtirilgan ishlab chiqarish tizimlari uchun juda mos keladi, egalik qilishning umumiy qiymatini (TCO) kamaytirish va global yarimo'tkazgichlarni etkazib berish zanjirlari uchun tezroq o'tkazish imkonini beradi.

Issiq teglar: Silikon ishlab chiqarish substrati, Xitoy silikon ishlab chiqarish substrati ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi