Yuqori bir xillikdagi kremniy gofreti

Yuqori bir xillikdagi kremniy gofreti

Bu yuqori{0}}bir xillikdagi kremniy gofret seriyasi ta'minlash uchun sinchkovlik bilan ishlab chiqilganmateriallarni izchil taqsimlashbutun kristall panjara bo'ylab. dan to'liq diametrli diapazonni qo'llab-quvvatlash2 dyuym (50 mm) dan 12 dyuymgacha (300 mm), bu substratlar ilgʻor litografiya va oʻyma ketma-ketliklarida sub{1}}mikron qurilmaning ishlashiga putur yetkazishi mumkin boʻlgan mikroskopik tebranishlarni bartaraf etish uchun moʻljallangan yuqori-aniqlik muhiti sifatida ishlaydi.

Bir hillik orqali jarayonni nazorat qilish kuchaytirildi:Radial qarshilik va kislorodning oraliq taqsimlanishi uchun ultra-qattiq chegarani saqlab, gofret sezilarli darajadao'zgaruvchanlikni kamaytiradidopant faollashuvida. Ushbu aniqlik umumiy jarayon nazoratini yaxshilaydi, bu esa ishlab chiqarish muhandislariga chegara kuchlanishlari (Vth) va to'yinganlik oqimlarining yanada qattiq taqsimlanishiga erishishga imkon beradi.Power IC (IGBT/MOSFET) va analogilovalar.

Takroriy ishlab chiqarish natijalari:Gofret qo'llab-quvvatlash uchun qurilgantakrorlanadigan ishlab chiqarish natijalariko'p-ko'p ishlab chiqarish bo'yicha. Uning yuqori sirt morfologiyasi va optimallashtirilganUmumiy qalinligi o'zgarishi (TTV)fotolitografiya paytida{0}}fokus chuqurligini (DOF) minimallashtirish-ko‘p hajmli quyish zavodlarida barqarorlashgan gofret hosildorligi-va hurda tezligini kamaytirishga bevosita yordam beradi.

Strukturaviy ishlab chiqarish barqarorligi:Bularbir xil xususiyatlarumumiy ishlab chiqarish barqarorligini oshirish, ayniqsa, yuqori{0}}stressli termal davrlar va kimyoviy{1}}mexanik planarizatsiya (CMP) davrida. Uning doimiy mexanik chidamliligi buni amalga oshiradianiqlik{0}}yo'naltirilgan ilovalar uchun ideal, tayyor komponentlar avtomobilsozlik va sanoat elektronika sektorlari tomonidan talab qilinadigan eng qat'iy ishonchlilik standartlariga javob berishini ta'minlash.

Issiq teglar: yuqori bir xillik kremniy gofret, Xitoy yuqori bir xillik kremniy gofret ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilari, zavodi