Silikon karbidli substratning tasnifi

Turli elektr xususiyatlariga ko'ra, kremniy karbid tagliklari ikki turga bo'linishi mumkin: yarim izolyatsiyalovchi silikon karbid tagliklari va o'tkazuvchan silikon karbid tagliklari. Yarim izolyatsiyalovchi kremniy karbid substratlari asosan galyum nitridi radiochastota qurilmalarini ishlab chiqarish uchun ishlatiladi. Yarim izolyatsion kremniy karbid substratida galyum nitridi epitaksial qatlamini o'stirish orqali kremniy karbid asosidagi galiy nitridi epitaksial gofret ishlab chiqariladi, bundan keyin galiy nitridi radiochastota qurilmalarini ishlab chiqarish uchun foydalanish mumkin. Supero'tkazuvchilar silikon karbid substratlari asosan quvvat qurilmalarini ishlab chiqarishda qo'llaniladi. An'anaviy kremniy quvvat qurilmasini ishlab chiqarish jarayonidan farqli o'laroq, kremniy karbidli quvvat qurilmalari to'g'ridan-to'g'ri silikon karbid substratlarida ishlab chiqarilmaydi. Kremniy karbid epitaksial plitani olish uchun Supero'tkazuvchilar substratda kremniy karbid epitaksial qatlamini o'stirish va epitaksial qatlamda har xil turdagi quvvat qurilmalarini ishlab chiqarish kerak. qurilma.